不朽情缘
G2.5蒸镀设备
应用场景：应用于OLED车灯和车显、OLED照明、智能穿戴等小尺寸OLED面板量产
产品应用
– 可蒸镀基板尺寸370mm*470mm
– Cluster Type
– 标准化
– 模块化
– 成膜均匀性高
– 使用光学对位，对位精度高
– 运营稳定
技术优势
– 有机材料利用率高
– 可满足客户定制需求
– Particle 最少化
– 具备Auto PID，蒸镀稳定，成膜均匀
– 高信赖性，可实现长时间稳定稼动生产（MTFR≥720hour）??
| G2.5蒸镀设备 | 规格参数 |
|---|---|
| 基板 | 370mm*470mm |
| 生产节拍 | 5分钟 |
| 生产时间 | ≥144小时 |
| 膜厚均匀性：有机材料 | ≤2% (片内)；≤3%(片间) |
| 膜厚均匀性：金属材料 | ≤3% (片内)；≤2%(片间) |
| 速率稳定性（0.01?/s- 3?/s）有机材料 | Host: ≤±2%，@1.0?/s |
| 速率稳定性（0.01?/s- 3?/s）Dopant | ≤±3%，@0.01?/s |
| 速率稳定性（0.01?/s- 3?/s）金属材料 | ≤±2%，@1.0?/s；≤±3%，@0.01?/s |
| 对位 | ≤±3μm（CCD） |
京公网安备11030102010672号
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